前言：在如今的半导体企业发展过程中，半导体设备占据了重要的地位，当务之急就是要全面开展维修和维护工作。在现代化的半导体设备之中，大多数都应用在流水作业线上，如果在实际生产的过程中，设备出现了任何问题，那么就很容易导致后续生产作业无法进展，并给企业带来非常大的经济损失。所以必须要对关键设备进行实时的监控，并针对性的开展维修工作，消除一些隐藏的故障问题。所以不论是站在任何一个角度来分析，开展半导体设备的维护和维修工作都是极为必要的。

一、半导体设备维护维修人员的基本要求

在日常生产过程中，针对设备维护维修是非常重要的一项工作内容，特别是半导体设备，如果出现任何问题，就会导致流水线全线停产，给企业发展带来一定的影响。在我国发展过程中，应用进来的大部分半导体设备，都是一些日本和美国的生产设备，将机电一体化方法和高能粒子控等方昂发应用进来，所以需要相关维护维修人员具备较高的知识功底，在遇到问题时，可以及时解决问题，不会影响到生产工艺正常运行。半导体设备维护维修工作，又是一项非常枯燥的公祖，需要工作人员仔细检查不放过任何一个细节，而且遇到任何故障都需要深层次的排查和检修，所以需要维护维修人员自身具备较强的敬业精神，同时可以做到刻苦探索，还要具备较强的责任意识，才能胜任这一工作。

二、半导体设备的维护与维修分析

（一）半导体设备的日常维护

在我国发展过程中，半导体设备是在借鉴发达国家的基础上进一步研发而成的，整体的质量和精度都非常优异，所以为了确保其发挥出更大的作用，就更要开展日常维护工作，在维护的过程中，需要维护人员掌握半导体设备的实际运行和操作方法，并对设备的一些工作原理和不同部件的功能进行全面学习和掌握。

首先，就是需要针对一些进口的设备，那么就要将专门的维护手册应用进来，还要运用专业的翻译软件，对维护的一些注意事项和内容进行全面翻译和掌握，这样就可以遵循维护手册的要求，开展日常维护工作，明确维护要点。此外，在这样充分了解的背景下，可以避免破坏设备本身的精度，进行系统的改进和改善，确保原本设备一些相对落后的工艺，得以不断进步，整体设备的先进性大幅度提升上来，保证后续的运行质量。

其次，就是对于国内的半导体设备而言，需要在前期调试的过程中，就需要开展专门的危害工作，也就是说，维护人员应对安装调试的过程进行全面参观和学习，掌握调试的要点，然后明确一些设备日常应用可能会遇到的问题进行全面掌握，并找到最佳的解决方法。例如，针对设备运行的过程中，一些容易出现摩擦和损耗的部件，需要在日常维护的过程中进行定期的更换，还要加强检查的频率，避免设备因为这些细小的问题，出现停工的问题，增加企业损失。

（二）半导体设备的维修方法

在开展半导体设备维修工作的过程中，维修人员必须要做到对症下药，这样才能达到最佳的维修效果，保证半导体设备的稳定运行。

对于半导体设备维修人员而言，在发现半导体设备出现故障之后需要第一时间进行诊断，明确故障发生的深层次原因，然后将可行性的维修对策实施进来。维修人员需要深入到半导体设备之中，对水电气的供应正常和合理轻可进行及时的检查，确保完全正常的情况下，对设备的主体进行及时检查，对设备的故障成因进行全麦能明确，避免出现任何检查行为过于盲目的情况，这样就可以最大化的节约人力和物力。首先，就是维修人员应对设备的故障范围进行全面明确。正常来讲，半导体设备主要包含三部分的内容，一部分就是控制部分，另一部分就是传送部分，最后一部分就是附加部分。所以维修人员需要立足于故障问题开展针对性的分析，找到问题所在的位置，如果恰好在精细的控制部位，那么在维修的过程中，就需要对电路板模块进行循序渐进的排查（如图1所示），与此同时还要进行科学对比和分析，找出故障的原因，在明确相同设备的前提下，将替代法应用进来，这样就可以最大化的提高排查的速度；其次，就是要深入到不同的部位之中，将灰尘清理好，仔细检查各个板件的线路连接情况。在现实中，对于大部分引进的半导体设备，随着运行时间的推移，不论是插口，还是接口的部位，都会出现一些灰尘堆积的情况，这就会增加漏电事故的发生概率，而且在长时间的应用背景下，会让接口的松开程度大幅度提升。所以在实际维修过程中，必须要将无水酒精和清洗剂应用进来，达到彻底清理灰尘的效果，还要重新的检查和连接各个接口，确保半导体设备可以正常运行；最后，就是在半导体设备运行的过程中，如果出现了问题之后再开展维修工作，很容易会影响到维护维修工作的进程，并增加经济损失，更有甚者就加大安全事故发生概率。所以就要将预测性的维修工作开展进来，深入到设备生产的过程之中对整体生产状态进行全面灌注，而且在设备运行的过程中，需要加强状态的监测和故障诊断工作，及时判断设备当下的状态情况，预测设备状态的发展趋势，这样就可以将针对性的维修计划制定进来，并充分发挥预测性维修的作用，降低故障隐患发生概率。

图1 电路模板排查

三、结束语

总而言之，在半导体设备实际运行的过程中，将维护和维修工作全面开展进来是极为重要的，可以最大化保证设备的良好稳定运行。但是在维护和维修工作开展的过程中，不可过于盲目，而是要明确维护维修人员的基本要求，将满足要求的维护维修人员安排进来，还要制定全面的优化措施，例如，对设备维护维修的方法以及策略进行掌握，针对设备进行日常性的维护作业，更要开展预测性的维修作业等等，才能保证维护维修工作质量。在未来发展过程中，我国的半导体设备会实现进一步创新和突破，那么对应的维护和维修工作也就更加负责，所以需要维护和维修工作人员不断提升自身的专业能力，达到预期的维护维修效果，真正从多角度出发保障半导体设备的高效稳定运行。

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作者简介：

    郭生华（1990.11—），男，满族，籍贯：中国，辽宁鞍山人，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，职称：机械工程师，学士学位，专业：机械电子工程